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| LEADER |
01719nma a2200325 u 4500 |
| 001 |
EB001979081 |
| 003 |
EBX01000000000000001141983 |
| 005 |
00000000000000.0 |
| 007 |
cr||||||||||||||||||||| |
| 008 |
210512 ||| deu |
| 020 |
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|a 1000034771
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| 020 |
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|a 9783731500261
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| 100 |
1 |
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|a Teutsch, Michael
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| 245 |
0 |
0 |
|a Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
|h Elektronische Ressource
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| 260 |
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|b KIT Scientific Publishing
|c 2013
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| 300 |
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|a 1 electronic resource (XIII, 175 p. p.)
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| 653 |
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|a Mikrosysteme
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| 653 |
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|a Technology: general issues / bicssc
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| 653 |
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|a Superlegierung
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| 653 |
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|a Nickel
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| 653 |
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|a LIGA
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| 041 |
0 |
7 |
|a deu
|2 ISO 639-2
|
| 989 |
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|b DOAB
|a Directory of Open Access Books
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| 490 |
0 |
|
|a Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
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| 500 |
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|
|a Creative Commons (cc), https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
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| 028 |
5 |
0 |
|a 10.5445/KSP/1000034771
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| 856 |
4 |
0 |
|u https://www.ksp.kit.edu/9783731500261
|7 0
|x Verlag
|3 Volltext
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| 856 |
4 |
2 |
|u https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46606
|z DOAB: description of the publication
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| 082 |
0 |
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|a 600
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| 520 |
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|a Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.
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