Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasiert...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
|
| Series: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | |
| Collection: | Directory of Open Access Books - Collection details see MPG.ReNa |
| Summary: | Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. |
|---|---|
| Item Description: | Creative Commons (cc), https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |
| Physical Description: | 1 electronic resource (176 p. p.) |
| ISBN: | 9783866445291 1000018509 |