Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu...
Main Author: | |
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Format: | eBook |
Published: |
KIT Scientific Publishing
2013
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Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
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Subjects: | |
Online Access: | |
Collection: | Directory of Open Access Books - Collection details see MPG.ReNa |
Summary: | Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung. |
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Item Description: | Creative Commons (cc), https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |
Physical Description: | 1 electronic resource (XIII, 175 p. p.) |
ISBN: | 1000034771 9783731500261 |