MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensors...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Wiesbaden
Vieweg+Teubner Verlag
2005, 2005
|
| Edition: | 1st ed. 2005 |
| Subjects: | |
| Online Access: | |
| Collection: | Springer eBooks 2005- - Collection details see MPG.ReNa |
| Summary: | Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen |
|---|---|
| Physical Description: | 212 S. 92 Abb online resource |
| ISBN: | 9783663107781 |