Vakuumbeschichtung Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
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| Format: | eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1994, 1994
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| Edition: | 1st ed. 1994 |
| Series: | VDI-Buch
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| Subjects: | |
| Online Access: | |
| Collection: | Springer Book Archives -2004 - Collection details see MPG.ReNa |
Table of Contents:
- 1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen
- 1.1 Vorbemerkungen
- 1.2 Steuerungssysteme
- 1.3 Materialfluß
- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen
- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen
- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses
- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung
- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung
- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz
- 2.4 Optische Meßverfahren
- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum
- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz
- 2.7 Atomemissionsspektroskopie
- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß
- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit
- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit
- 3.3 Magnetische Eigenschaften
- 3.4 Messung von Farbeigenschaften
- 3.5 Optische Eigenschaften
- 3.6 Permeation
- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten
- 3.8 Härtemessung
- 3.9 Haftfestigkeit
- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen
- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften
- 3.12 Schichtdickenmessung
- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten
- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse
- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren
- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS
- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen
- 4.4 Rastertunnelmikroskopie
- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde)
- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik
- Literatur
- Sachwortverzeichnis
- Autorenverzeichiiis