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| LEADER |
02856nmm a2200337 u 4500 |
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| 007 |
cr||||||||||||||||||||| |
| 008 |
140122 ||| ger |
| 020 |
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|a 9783642579042
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| 100 |
1 |
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|a Kienel, Gerhard
|e [editor]
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| 245 |
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|a Vakuumbeschichtung
|h Elektronische Ressource
|b Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
|c herausgegeben von Gerhard Kienel
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| 250 |
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|a 1st ed. 1994
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| 260 |
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|a Berlin, Heidelberg
|b Springer Berlin Heidelberg
|c 1994, 1994
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| 300 |
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|a XII, 368 S.
|b online resource
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| 505 |
0 |
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|a 1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen -- 1.1 Vorbemerkungen -- 1.2 Steuerungssysteme -- 1.3 Materialfluß -- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen -- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen -- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses -- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung -- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung -- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz -- 2.4 Optische Meßverfahren -- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum -- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz -- 2.7 Atomemissionsspektroskopie -- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß -- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit -- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit -- 3.3 Magnetische Eigenschaften -- 3.4 Messung von Farbeigenschaften -- 3.5 Optische Eigenschaften -- 3.6 Permeation -- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten -- 3.8 Härtemessung -- 3.9 Haftfestigkeit -- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen -- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften -- 3.12 Schichtdickenmessung -- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten -- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse -- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren -- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS -- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen -- 4.4 Rastertunnelmikroskopie -- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde) -- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik -- Literatur -- Sachwortverzeichnis -- Autorenverzeichiiis
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|a Materials—Surfaces
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|a Industrial Chemistry/Chemical Engineering
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|a Chemical engineering
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|a Thin films
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|a Characterization and Evaluation of Materials
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|a Manufactures
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|a Surfaces and Interfaces, Thin Films
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|a Materials science
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|a Manufacturing, Machines, Tools, Processes
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| 041 |
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7 |
|a ger
|2 ISO 639-2
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| 989 |
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|b SBA
|a Springer Book Archives -2004
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| 490 |
0 |
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|a VDI-Buch
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| 856 |
4 |
0 |
|u https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2?nosfx=y
|x Verlag
|3 Volltext
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| 082 |
0 |
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|a 670
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