Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
| Main Author: | |
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| Format: | eBook |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2012
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| Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
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| Collection: | Directory of Open Access Books - Collection details see MPG.ReNa |
| Summary: | In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. |
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| Item Description: | Creative Commons (cc), https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |
| Physical Description: | 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
| ISBN: | 1000027524 9783866448438 |