Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
| Main Author: | |
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| Format: | eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1997, 1997
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| Edition: | 1st ed. 1997 |
| Series: | IPA-IAO - Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Inst. für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) Stuttgart, Fraunhofer-Inst. für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO) Stuttgart, Inst. für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart
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| Subjects: | |
| Online Access: | |
| Collection: | Springer Book Archives -2004 - Collection details see MPG.ReNa |
| Physical Description: | 123 S. 61 Abb online resource |
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| ISBN: | 9783642479083 |