Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
| Main Author: | |
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| Format: | eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1997, 1997
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| Edition: | 1st ed. 1997 |
| Series: | IPA-IAO - Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Inst. für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) Stuttgart, Fraunhofer-Inst. für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO) Stuttgart, Inst. für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart
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| Subjects: | |
| Online Access: | |
| Collection: | Springer Book Archives -2004 - Collection details see MPG.ReNa |
Table of Contents:
- 1 Einleitung
- 1.1 Problemstellung
- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise
- 2 Stand der Technik
- 2.1 Definitionen der Reinraumtechnik
- 2.2 Ausgangssituation
- 2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
- 3 Entwicklungsschwerpunkte
- 3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten
- 3.2 Anforderungen an das Verfahren
- 4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens
- 4.1 Konzeption der Methoden
- 4.2 Konzeption der Hilfsmittel
- 4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen
- 5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption
- 5.1 Methode zur funktionellen Analyse
- 5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung
- 6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption
- 6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen
- 6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen
- 6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen
- 6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen
- 7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung
- 7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges
- 7.2 Durchführung der funktionellen Analyse
- 7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung
- 7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens
- 8 Zusammenfassung und Ausblick
- 9 Literaturverzeichnis