MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorge...
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| Format: | eBook |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2006
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| Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
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| Collection: | Directory of Open Access Books - Collection details see MPG.ReNa |
| Summary: | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. |
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| Item Description: | Creative Commons (cc), https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |
| Physical Description: | 1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.) |
| ISBN: | 1000003769 3937300953 |