Table of Contents:
  • 0 Symbol- und Abkürzungsverzeichnis
  • 1 Einleitung
  • 1.1 Ausgangsbedingung und Problemstellung
  • 1.2 Zielsetzung und Lösungsweg
  • 2 Stand der Technik
  • 2.1 Beschichten von Kunststoffen
  • 2.2 Modifikation von Kunststoffen im Plasma
  • 2.3 Meßverfahren zur Charakterisierung der Schicht- bzw. der Oberflächeneigenschaften
  • 3 Physikalische Grundlagen
  • 3.1 Vakuum
  • 3.2 Verdampfungsprozeß
  • 3.3 Plasma
  • 3.4 Schichthaftung
  • 4 Versuchsaufbau
  • 4.1 Plasmaätzanlage
  • 4.2 Beschichtungsanlage
  • 5 Versuchsdurchführung
  • 5.1 Substrate
  • 5.2 Versuchsablauf
  • 5.3 Schicht-, Verdampfungs- und Tiegelmaterialien
  • 5.4 Parameter der zur Charakterisierung der Schicht- bzw. der Oberflächeneigenschaften eingesetzten Verfahren
  • 6 Ergebnisse der Versuche
  • 6.1 Plasmamodifikation
  • 6.2 Beschichtung
  • 6.3 Einfluß der Plasmamodifikation auf die Haftfestigkeit
  • 6.4 Einfluß der Beschichtungsparameter auf die Haftfestigkeit
  • 6.5 Optische Eigenschaften und Verschleißfestigke